ATV3000 智能排氣壓力控制器
ATV3000 排氣壓力控制器用于控制真空室中的壓力。
它還可以控制大范圍的壓力。
由于控制器和閥門(mén)一體制造，因此無(wú)需使用額外的控制器即可達(dá)到降低成本的效果。
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特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)
■??ATV3000智能排氣節(jié)流閥采用微步進(jìn)電機(jī)和直接齒輪驅(qū)動(dòng)器來(lái)提高閥門(mén)的分辨率?？砂胗谰眯允褂谩?/span>
■?ATV3000智能排氣節(jié)流閥采用高扭矩電機(jī)，因此即使在大尺寸腔室中也可以安裝真空管路（例如12英寸）?？梢允褂?/span>?
■?ATV3000 智能排氣節(jié)流閥體即使在加熱至150°C 后也可使用。 (不包括密封型)?
■?ATV3000 智能排氣節(jié)流閥在FND 中顯示擋板的位置，以便用戶可以從外部檢查閥門(mén)是否正在運(yùn)行。?
? ?它的設(shè)計(jì)使其無(wú)需與設(shè)備分離即可進(jìn)行檢查。
■對(duì)于ATV3000智能排氣節(jié)流閥，法蘭形式可根據(jù)客戶要求在訂購(gòu)時(shí)設(shè)定。 （法蘭類型：ISO-NW、ASA、CF、JIS、KF）?
■?ATV3000 智能排氣節(jié)流閥僅在外部提供直流電源(+24VDC) 時(shí)才能使用。?
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產(chǎn)品?
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規(guī)格
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速度（打開(kāi)到關(guān)閉）
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1.5秒?
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解決
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1/12000?
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驅(qū)動(dòng)方式
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直接齒輪傳動(dòng)?
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閥體最高工作溫度
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標(biāo)準(zhǔn)0-100
可選：0 - 150（注1）?
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閥門(mén)電機(jī)環(huán)境
工作溫度
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-20 至 +40?
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不同的壓力
跨閥
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1 個(gè)大氣壓。最大 (15psig)?
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軸封處外部泄漏
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1x10-8 秒/秒 He?
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暴露于工藝中的材料
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標(biāo)準(zhǔn)：304 SS、氟橡膠（注 2）
可選：316 SS、氟橡膠（注 2）?
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視覺(jué)位置指示器
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FD
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驅(qū)動(dòng)輸出扭矩
（使用型號(hào) GPC3000 或 MKS 651 型）
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800 英寸盎司?
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規(guī)格
?
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速度（打開(kāi)到關(guān)閉）
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1.5秒?
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解決
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1/24000?
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驅(qū)動(dòng)方式
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直接齒輪傳動(dòng)?
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閥體最高工作溫度
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標(biāo)準(zhǔn)0-100
可選：0 - 150（注1）?
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閥門(mén)電機(jī)環(huán)境
工作溫度
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-20 至 +40?
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不同的壓力
跨閥
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1 個(gè)大氣壓。最大 (15psig)?
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軸封處外部泄漏
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1x10-8 秒/秒 He?
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暴露于工藝中的材料
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標(biāo)準(zhǔn)：304 SS、氟橡膠（注 2）
可選：316 SS、氟橡膠（注 2）?
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兼容控制器
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型號(hào)GPC3000
MKS 651、1651 型?
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驅(qū)動(dòng)輸出扭矩
（使用型號(hào) GPC3000 或 MKS 651 型）
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