Entegris 過(guò)濾器

美國(guó)Entegris英特格Planargard? APR 塊狀 CMP 過(guò)濾器
  • 美國(guó)Entegris英特格Planargard? APR 塊狀 CMP 過(guò)濾器

  • 美國(guó)Entegris英特格Planargard? APR 塊狀 CMP 過(guò)濾器
    下一代泥漿過(guò)濾器用于解決先進(jìn)節(jié)點(diǎn)工藝中泥漿中大顆粒和細(xì)顆粒的減少問(wèn)題。

    獲得專利的多層介質(zhì)具有高保留性,有助于減少晶圓缺陷并提高產(chǎn)量
    介質(zhì)設(shè)計(jì)可吸收細(xì)小顆粒,最大限度地減少 CMP 后低效清潔,從而增加總體擁有成本
    使用我們的 Chemlock ? 過(guò)濾器外殼,節(jié)省空間、清潔、易于安裝

    規(guī)格

    長(zhǎng)度 一個(gè)
    10 英寸 246 毫米 ±3 毫米 (9.68 英寸 ±0.12 英寸) 266 毫米 ±3 毫米 (10.47 英寸 ±0.12 英寸)
    20 英寸 496 毫米 ±4 毫米 (19.53 英寸 ±0.16 英寸) 516 毫米 ±4 毫米 (20.31 英寸 ±0.16 英寸)
    30 英寸 746 毫米 ±6 毫米 (29.37 英寸 ±0.23 英寸) 766 毫米 ±6 毫米 (30.16 英寸 ±0.23 英寸)
    40 英寸 996 毫米 ±6 毫米 (39.21 英寸 ±0.23 英寸) 1016 毫米 ±6 毫米 (40.00 ±0.23 英寸)
    產(chǎn)品規(guī)格
    材料: 膜:聚合物/非聚合物介質(zhì)組合
    ? 芯材:聚丙烯
    ? 墨盒 O 形圈:EPR、FKM、硅膠、2-222
    產(chǎn)品類(lèi)型: 國(guó)家銀行
    最高工作條件: 最高溫度:80°C?(176°F)
    ? 最大正向壓差:25°C (77°F) 時(shí) 0.48 MPa (4.8 bar, 70 psi)
    LOGO

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