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ATV1000全鐵氟龍節(jié)流閥
ATV1000全聚四氟乙烯節(jié)流閥用于控制真空室中的壓力。
ATV1000 全特氟龍(節(jié)流閥)設計與 GPC3000(自動壓力控制器)兼容。
特別是,其特征在于其為POCL液體,被廣泛用作半導體工藝制造設備的排出裝置。
?
特點與優(yōu)勢
■??ATV1000全鐵氟龍(節(jié)流閥)采用微步進電機和直接齒輪驅動器,提高閥門的分辨率。
可半永久性使用。
■?ATV1000全鐵氟龍(節(jié)流閥)可與貴公司提供的GPC3000控制器連接使用,也可連接使用其他公司產品的控制器。?
■?ATV1000全聚四氟乙烯(節(jié)流閥)采用聚四氟乙烯材料制成,專用于防污染。?
產品?
規(guī)格
速度(打開到關閉)
2.0秒?
解決
1/24000?
驅動方式
直接齒輪傳動?
閥門電機環(huán)境
工作溫度
-20 至 +40?
不同的壓力
跨閥
1 個大氣壓。最大 (15psig)?
軸封處外部泄漏
1x10-8 秒/秒 He?
暴露于工藝中的材料
聚四氟乙烯、聚醚醚酮、氟橡膠
兼容控制器
型號GPC3000
MKS 651、1651 型?
尺寸
i英寸特氟龍連接?
全閉漏(100mmH2O)
?3升/分鐘
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