Entegris 過濾器

Wafergard? II 3XP 在線氣體過濾器
  • Wafergard? II 3XP 在線氣體過濾器

  • Wafergard? II 3XP 在線氣體過濾器
    Wafergard ? II 3XP 在線氣體過濾器流量高達(dá) 500 slpm,全部采用不銹鋼,具有卓越的流量特性,專為需要超高清潔度的中等流量應(yīng)用(例如離子注入、退火和外延生長(zhǎng)設(shè)備)而設(shè)計(jì)。篩選。

    優(yōu)化的高流量、高顆粒去除性能過濾部分實(shí)現(xiàn)了常規(guī)產(chǎn)品3倍的流量和3個(gè)數(shù)量級(jí)的顆粒去除性能。
    標(biāo)準(zhǔn)尺寸可輕松安裝到現(xiàn)有燃?xì)饷姘搴凸庀到y(tǒng)中,無(wú)需更改設(shè)計(jì)
    所有 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)均耐腐蝕,與大多數(shù)半導(dǎo)體材料氣體兼容,即使在高溫和脈動(dòng)應(yīng)用中也能提供可靠性

    型號(hào)
    Wafergard? II 3XP 在線氣體過濾器型號(hào)
    型號(hào)?? ?形狀?? ?聯(lián)系
    WG2L200SS3R2?? ?小型的?? ?1/4" 墊圈密封(1/4" VCR 兼容)
    WG2L200SS3R4?? ?小型的?? ?1/2" 墊圈密封(1/2" VCR 兼容)
    WG2L500SS5R2?? ?迷你加大號(hào)?? ?1/4" 墊圈密封(1/4" VCR 兼容)
    WG2L500SS5R4?? ?迷你加大號(hào)?? ?1/2" 墊圈密封(1/2" VCR 兼容)

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